第266章 华清大学的光刻机 (3/5)
bsp; 可惜啊!
带着这样的想法,走到了会议室门口的秦亮,深深地呼吸了一口气,然后推开了门。
“各位,有咱们西工大,咱们的芯片产业不会落后的!”
众人都是一愣,这谁啊,不认识啊!
不过,这青年身后的人,大家伙是认识的。
“林老,您怎么……”
“嗯,路过,就进来看看,听你们说,咱们这华清大学自研的光刻机,被一群有眼无珠的家伙给无视了,咱们是不会坐视不理的,亮子,把你的想法说说吧。”
秦亮点头:“徐教授,能把我们现在的光刻机性能,给我介绍一下吗?”
“嗯,目前咱们研制的光刻机,可以加工4到6英寸的芯片,工作台行程160毫米X160毫米,理论分辨率0.8微米,实际有效分辨率可以达到1.25微米……”
“这性能不错,咱们要两台!”
两台!
光刻机这东西,那都是手工生产的,哪怕后世光刻机巨头阿斯麦,最先进的EUV光刻机,一年的产能也不过几十台,对华清大学精密仪器系来说,这两台光刻机,够手搓好几个月的了。
“太好了,我们只报成本价……”
秦亮摇头:“不,咱们不占你们华清大学的便宜,国际市场上售价多少,咱们就给多少。”
众人都是一阵兴奋。
“谢谢,太谢谢你了!”徐教授一下子站了起来,握住了秦亮的手:“有了你们的这笔费用,我们就能研发分步投影光刻机了!”
秦亮笑了笑:“这第一台分步投影光刻机,我们也要了!我们还会把全款给你们,你们抓紧时间……到年底前,能给我们研制出来吗?”
东方的半导体工业,已经追赶上来了,绝对不能拖延!有了西工大的这笔经费,就能达到和世界同步水平!
芯片产业的这个短板,要被补上了!
“好!”徐教授点头:“这一年,我就不回家了,天天住在9003……各位,你们想现在去看看吗?”
“好啊。”
今天这会议,就是协商在资金减少的情况下,如何继续搞光刻机开发的事情,现在,不用发愁了!西工大的资金注入,足够让他们完成新的光刻机的开发!
原本需要85年才能问世的分步投影光刻机,81年就能搞出来,和世界同步!
大家伙向实验室而去,穿上防护服,通过了防尘通道,进入到了9003实验基地。
那台参加过巴黎工业展的光刻机,就摆在实验室的中央,这里的温度常年保持在20摄氏度上,正负不能超过0.1摄氏度,防尘标准100级,在1立方米的空气中,浮尘微粒控制在100粒以下……甚至这里的震动幅度,正负不能超过2微米!
其实,想想也知道,你雕刻个1.25微米的硅片,光刻机上下震动一下,哪怕2微米,那雕刻出来的肯定是废品啊!
这要求,就足够体现出来它有多么的高大上了。
秦亮看着这台机器
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