第266章 华清大学的光刻机 (2/5)

sp; 最早用的是汞灯当光源，扫描台拖着硅片，和掩膜一起同步运动，光源通过狭缝变成均匀光，把图案投影到光刻胶上。

    仅仅这个装置，就把芯片的良品率从百分之十提升到了百分之七十。

    不过，由于要移动，所以个头比较大，结构很复杂，于是，后来美国的GCA公司，又开始搞起来了分步重复精缩投影光刻机，掩膜和硅片不需要同步移动，同时物镜还能缩小倍率，这样掩膜版的制作难度大大降低。

    这个东西诞生之后，光刻机的具体技术路线，就固定下来了，之后不断提升光源，改进技术，但是基本结构是不变的，除非是后世那种3纳米芯片需要的EUV光刻机，其余的，都是这个结果。

    徐教授他们开始研究之后，瞄准的就是投影式光刻机，前些年，这种光刻机已经研发成功，接下来，就应该再接再厉，研发分步投影的光刻机！

    可惜，时代变了！

    曾经重要的产品，已经能买到了！

    这其中的转折，就是1978年，当时巴黎工业展览会，东方把光刻机送过去了，一番展览之后，西方知道东方能搞这种光刻机了，所以，不用搞什么禁售了。

    己方的光刻机在巴黎工业展览会上展示了东方的技术水平，回来后，一个个说要买光刻机的单位，都不要了！

    只有109厂采购了一台试用之外，就是9003基地里的那台了。

    现在，他们还想要继续研制分步投影光刻机，上面已经犹豫了，不想给提供资金了！

    早知道，78年的时候就不去参加展览了！但是……那是上级的命令，己方只能遵守，甚至，当时出国的人，没一个是光刻机的研发人员，在会议现场被问了个灰头土脸，甚至被质疑的假的，要求东方人把这光刻机带走。

    眼看要丢人，才赶紧发电报，让徐教授匆匆过去，一番介绍，知无不言，才让外国人相信东方有这个技术！

    想起那段历史来，徐教授就是一阵阵的愤怒。

    现在，那些人居然还想要卡着他们的预算！

    卖不出去，不是我们的原因！明明那些能从国外买回来的光刻机性能还比不上我们的，国内的很多电子厂，还是要去买外国的，他们不过就是想要找机会，出国去看看……

    想到这里，徐教授握紧了拳头。

    “老徐，你坐下，咱们今天开会，就是商量的，上面不支持，咱们华清大学也会自筹资金搞研发，只是毕竟资金不足，可能会慢一些。”

    “按照咱们的计划，资金充足，再有一年就出来了，这样咱们和国外的光刻机差距，就能缩小到零！现在要是没了研发资金，可能会拖个三五年的时间……沈主任，咱们好容易追赶上来，不能再拖延啊！”

    芯片行业，摩尔定律就是个魔咒！逼迫着研发人员们日夜不停，不断地研制先进技术。

    一步落后，步步落后，现在如日中天的美国的光刻机公司，就是因为打不过岛国的光刻机产业，慢慢地衰落下去，而岛国的光刻机产业，又是被阿斯麦给终结的。

    在后世，所有人都知道东方芯片产业落后，但是他们并不知道，其实在七八十年代，东方的芯片产业并没有落后太多，如果加大投资力度，像岛国、南棒子那样，把芯片产业当做主要产业来抓的话，绝对能发展起来的！

    毕竟，咱们东方人是全世界最聪明的民族！

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