第592章 美国人惹上这家人，真是倒了八辈子的血霉 (2/4)

实验室里摸索。”

    “那就别用空气嘛。”陈山喝了一口水，语气轻松得像是在讨论晚饭吃什么。

    倪光南愣了一下：“不用空气？那用什么？真空？”

    “真空也不行，真空没有介质，折射率还是1。”旁边的老专家叹了口气，“陈先生，您是搞战略的，技术上的事……”

    “我是不懂技术。”陈山走到实验台前，把那个装满水的纸杯放在了昂贵的光刻机镜头模型旁边。

    他指了指杯子里的水。

    陈山转过头，看着倪光南，“老倪，水的折射率是多少？”

    倪光南下意识地回答：“纯水的折射率是1.44。”

    话音刚落，倪光南的身体猛地僵住了。

    就像是一道闪电，瞬间劈开了他混沌的大脑。

    1.44。

    公式：分辨率 = k1 * λ \/ NA。

    如果介质的折射率从空气的1变成了水的1.44……

    等效波长 = 193nm \/ 1.44 ≈ 134nm！

    不需要研发新的光源！不需要等待那个遥不可及的157纳米激光！只要在镜头和硅片之间加一层水，现有的设备就能直接突破物理极限！

    “水……”倪光南喃喃自语，瞳孔剧烈收缩，“在镜头和晶圆之间……加水？”

    “疯了！这简直是疯了！”旁边的老专家惊叫起来，“电子设备最怕水！而且水会产生气泡，会污染光刻胶，高速运动下水的张力怎么解决？这在工程学上是自杀！”

    “工程学的问题，只要肯砸钱，总能解决。”陈念站在一旁，淡淡地补了一刀，“但物理学的问题，砸钱也解决不了。”

    陈念从公文包里拿出一份文件，那是陈山根据后世记忆整理的《关于浸没式光刻系统的可行性猜想》。

    “爸说得对。”陈念把文件递给倪光南，“为什么非要死磕空气？”

    倪光南颤抖着手接过文件，只看了第一页的示意图，呼吸就变得急促起来。

    那是一个极其大胆、却又在理论上完美闭环的设计。

    利用水的折射率，将193纳米的光源“欺骗”成134纳米。这不仅仅是技术的突破，这是思维维度的降维打击！

    “快！快！”倪光南突然像个疯子一样大吼起来，把手里的图纸撕得粉碎，“把那台ASML的废机器抬过来！拆掉工件台！给我准备去离子水！我们要改装！”

    “倪工，这可是价值千万的设备……”

    “拆！出了事我负责！”倪光南一把推开阻拦的研究员。

    ……

    凌晨四点。

    实验室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻机，此刻被改得面目全非。核心曝光区域被加上了一个简陋的、甚至是用玻璃胶密封的注水槽。

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