第五百三十八章 半导体五年战略规划 (3/6)

;   第一代的HEUV-300B光刻机的每小时生产效率只有一百二十片，对比HEUV-300C的每小时一百八十片差了很多，再加上套刻精度的差距，最后导致用来生产五纳米芯片的话，就有些力不从心。

    不是说不行，而是划不来！

    丁成军继续道：“我们在建以及规划建设的多家晶圆厂，已经拟定采用这款HEUV-300C光刻机了，这种建造出来的晶圆厂，不仅仅能够用来制造五纳米工艺的芯片，我们也在想办法进行持续的技术升级改进后，让这种光刻机也是能够用来生产等效三纳米工艺的芯片！”

    “如此能够让先机半导体工厂的高利润使用寿命更长！”

    建设先进半导体工厂，是要考虑到未来的升级潜力，同时也要尽可能的适应更先进的工艺的……毕竟现在的新半导体工厂太贵了。

    里头用的各种设备都是清一色的天价！

    如HEUV-300C光刻机，这种最新型的EUV光刻机，海湾科技那边的对外供货价达到一点五亿美元一套……贵的很！

    而智云微电子规划一座月产五万片的5纳米工艺的晶圆厂，就要使用大概十台这种光刻机……光是这一种光刻机的采购成本，就得十五亿美元！

    然后还要搭配若干最新式的DUV浸润式光刻机，也就是海湾科技的HDUV-600E型光刻机，而这种光刻机也不便宜，每台要七千多万美元呢\b。

    这种光刻机在智云微电子里，虽然只是个打下手的光刻机类型，用来辅助EUV光刻机生产先进工艺的芯片!

    但是在其他半导体厂商里，这种先进DUV浸润式光刻机可是核心主力光刻机，用来生产10-14纳米工艺节点的先进芯片好用的很。

    只是因为价格过于昂贵，所以买得起的厂商其实也不多，现在也就只有智云微电子采购一些，但是量不大。

    反倒是稍微落后一些的HDUV-600B比较成熟，价格也相对便宜，现在只需要五千万美元左右一套，所以这款光刻机深受国内半导体厂商的欢迎，卖的很不错。

    一年依旧能够有五十多台的销量，乃是海湾科技诸多光刻机型号里的销冠！

    然后还要搭配DUV干式光刻机或KRF光刻机，这两种光刻机看似落后了，但其实依旧是顶级工业设备，很贵的……

    海湾科技的新式DUV干式光刻机，HDUV-250E型号光刻机，售价每台在两千万美元左右，这种光刻机性能其实都不错，都可以用来生产五十五纳米工艺的芯片，而且生产效率高，性能稳定，维护简单，只不过五十五纳米工艺市场整体已经比较小了，所以出货量不大只有十来台。

    辅助光刻机里，KRF光刻机是最受半导体厂商欢迎的，价格便宜，性能也够用……不过KRF光刻机就算便宜，但是也要七八百万美元一套。

    而上述这些前道光刻机，只是整个晶圆厂所需要的诸多设备的其中一个类型而已。

    然后还有后道光刻机，蚀刻机，例子注入机等……这些半导体关键设备的价格也是动不动就几千万美元的！

    其中几百万的设备，那都算是便宜货了！

    上述诸多昂贵的设备，再加上高级别的工厂建设费用等等加起来，就导致了先进半导体工厂的投资成本极为夸张。

    智云微电子投资一座月产能五万片的五纳米工艺晶圆厂，其投资规模能够达到两百亿美元以上！

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