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第三百零九章 28纳米自主可控 (5/6)

元的市值再一次震惊世人的时候,智云旗下的智云微电子旗下,首条采用国产光刻机以及多种核心设备的28纳米工艺产线也正式投产,开始量产28纳米工艺芯片。
  这意味着,国内的28纳米工艺开始自主可控,不需要担心外人卡脖子了。
  同样也意味着海湾科技的HDUV-400型光刻机已经成熟,尤其是套刻精度上大有进步。
  对于光刻机而言,最关键的参数有两个,一个是光源波长,比如DUV干式光刻机,则是193纳米的波长,而DUV浸润式光刻机,同样的光源下经过水的折射,可以把光源波长缩小到134纳米。
  然后另外一个关键参数就是套刻精度,套刻精度有很多个说法,一般在量产工艺里使用的是MMO,也就是不同设备之间的套刻精度。
  这个数据直接关系到大规模量产情况下的最小制程,良率等一系列关系性能,通常来说,只有满足五点五纳米的套刻精度,才能够实现28纳米工艺的大规模量产。
  不然的话,勉强使用良率会非常低,成本高昂,不具备商业使用价值。
  至于更进一步的18纳米以及十四纳米,甚至十纳米工艺这些,这就需要使用双重曝光技术,这对套刻精度要求更高,要求能够达到三点五纳米的套刻精度……
  这也是为什么说十八纳米工艺节点有些尴尬的原因,因为用来生产十八纳米的光刻机,它也能用来生产十四纳米。
  同样的设备,我为啥不生产十四纳米工艺的芯片?
  但是再往下的七纳米,这就需要使用四重曝光,这对套刻精度提出了更进一步的要求,常规来说需要达到二点五纳米的套刻精度,如此才能够让良率稳定在一定的水准。
  如果套刻精度不足的光刻机,强行采用四重曝光生产七纳米芯片,良率会非常低,成本非常高昂,除非特殊情况,不然没人这么干的。
  而海湾科技目前的目标,就是进一步缩小套刻精度,争取做到二点五纳米的水准,然后满足七纳米的生产需求。
  不过这也挺难的,这可是实打实的物理极限的提升,每一纳米的套刻精度提升都是无比艰难的。
  当然,二点五纳米套刻精度的光刻机,现在海湾科技还搞不出来,甚至三点五纳米套刻精度的光刻机,现在也磕磕绊绊,还得继续琢磨,估计下半年才能小批量供货测试,大规模量产使用,那都得明年去了。
  但是,现在的五点五纳米套刻精度的HDUV-400光刻机,却是已经成熟可用了……智云微电子那边都用这款光刻机,大规模投产二十八纳米工艺的芯片了。
  如果是用来生产三十二纳米工艺,四十纳米工艺或四十五纳米工艺这些更成熟的工艺,那就更不用说了,小菜一碟!
  甚至都可以来上一句性能过剩。
  智云微电子那边,开始使用HDUV-400光刻机进行投产,这个消息,让业内不少关注国产光刻机的其他芯片厂商看了大为动心。
  他们也想要这种便宜好货,来大幅度降低先进工艺的资金投入啊。
  海湾科技的光刻机,虽然整体性能差了点,比不过ASML的光刻机,但是人家卖的便宜啊,不仅仅售价便宜,后续的维护费用也便宜。
  这就让很多资金不是很充裕的晶圆厂很动心!
  反正他们也没什么野心搞更先进的双重曝光,玩什么十八纳米,十四纳米工艺,他们就想玩个四十五纳米工艺,撑死了再搞个二十八纳米工艺。
  这个海湾科技的HDUV-400光刻机,已经很充分了。
  ——————
  不久后,中芯方面也随后正式宣布,他们采购的首台量产型HDUV400光刻机已经进入产线,并投入四十纳米工艺储存芯片的生产。
  同时他们还准备利用这一款光刻机,来筹建第二条28纳米工艺产线。
  国内的其他芯片制造厂商看了,就更加坐不住了……国内半导体领域里的老大和老二都已经开始用了,我们也要用啊!
  于是纷纷找到了海湾科技,希望他们加速供货。
  对此,海湾科技方面是欢喜无比的同时也苦不堪言……这HDUV-400光刻机的订单太多,而他们的产能也是有限的,短时间里根本无法提供这么多的光刻机。
  但是有太多人找上门来,还各种找关系说人情,把海湾科技方面的人给弄的都怕了。
  光刻机这东西,又不是大白菜,海湾科技也只是个负责系统整合的组装厂商而已,很多时候都不是他们想要提升产能就能提升产能的,得后头一大串的供应商都提升产能才行。
  比如核心的镜片。
  别看只是镜片,但是它却是一台光刻机里的核心零部件,而这种超高精度的镜片的加工极其困难,复杂,南方光学里加工这种超高精度的镜片的产能是极为有限的。
  这些镜片,都是由业内最

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